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工藝|美國佐治亞理工學院在軍方資助下開發(fā)出具有前所未有穩(wěn)定性的納米結(jié)構(gòu)柵極電介質(zhì),或?qū)Ⅻc燃有機薄膜晶體管引爆點

美國佐治亞理工學院有機光子學和電子學中心(COPE)研究團隊開發(fā)出一種新型納米結(jié)構(gòu)有機薄膜晶體管,這項研究是COPE中心15年來的發(fā)展結(jié)晶,新成果于1月12日在“科學進展”(Science Advances)雜志上發(fā)表。

新技術(shù)簡介

新的納米結(jié)構(gòu)柵極電介質(zhì)可能已經(jīng)解決了擴大有機半導(dǎo)體用于薄膜晶體管的最重要的障礙,該結(jié)構(gòu)由一種氟聚合物層和由兩種金屬氧化物材料制成的納米層壓薄片(nanolaminate)組成,用作柵極電介質(zhì),并保護有機半導(dǎo)體,此前,有機半導(dǎo)體很容易受到周圍環(huán)境的破壞,而新結(jié)構(gòu)使晶體管具有前所未有的穩(wěn)定性。

圖為美國佐治亞理工學院高級研究科學家Canek Fuentes-Hernandez(左)和COPE中心主任Bernard Kippelen教授(右)檢查具有新型納米結(jié)構(gòu)柵極電介質(zhì)的有機薄膜晶體管的樣品,新型結(jié)構(gòu)為晶體管帶來了前所未有的穩(wěn)定性

資助單位

該研究由美國海軍研究辦公室、空軍科學研究辦公室和國家核安全局共同資助。

新技術(shù)優(yōu)勢

新的結(jié)構(gòu)使薄膜晶體管的穩(wěn)定性與無機材料相媲美,使其能夠在周圍環(huán)境條件甚至在水下工作。在低溫條件下,有機薄膜晶體管可以使用諸如噴墨印刷的技術(shù)在各種柔性襯底上低成本地制造,潛在地開啟了利用簡單的、加成制造工藝的新應(yīng)用。

Bernard Kippelen教授表示,現(xiàn)在他們已經(jīng)證明了一種首次建立的能夠獲得壽命性能的幾何結(jié)構(gòu),使得有機電路可以與傳統(tǒng)的無機技術(shù)生產(chǎn)的器件一樣穩(wěn)定。這可能是有機薄膜晶體管的引爆點,解決了長期以來人們對有機印刷器件穩(wěn)定性的擔憂。

技術(shù)原理與工藝

晶體管包括三個電極,只有當電壓施加到柵極時,源極和漏極之間才通過電流形成“導(dǎo)通”狀態(tài),柵極通過一層薄介電層與有機半導(dǎo)體材料分開。佐治亞理工學院開發(fā)的一個獨特的結(jié)構(gòu)是該介電層由兩部分組成,即含氟聚合物層和金屬氧化物層。

Canek Fuentes-Hernandez表示,當他們第一次開發(fā)該結(jié)構(gòu)時,金屬氧化物層用的是氧化鋁,但這種結(jié)構(gòu)容易受到濕度影響,與Samuel Graham教授合作后,他們開發(fā)了復(fù)雜的納米層壓薄片結(jié)構(gòu),可以在低于110℃的溫度條件下生產(chǎn),當該結(jié)構(gòu)用作柵極電介質(zhì)時,能夠使晶體管在浸入接近沸點的水中依然正常工作。

喬治亞理工學院開發(fā)的新的納米結(jié)構(gòu)采用了氧化鋁和氧化鉿的交替層,一種材料生長五層,然后另一種材料再生長五層,在含氟聚合物層上重復(fù)進行30次,制成電介質(zhì),氧化層是用原子層沉積(ALD)方法制造。最終形成的納米層壓薄片結(jié)構(gòu)厚度大約為50納米,幾乎不受濕度的影響。

Canek Fuentes-Hernandez表示,雖然他們知道這種新結(jié)構(gòu)產(chǎn)生了良好的勢壘性能,但他們更被這種新結(jié)構(gòu)晶體管工作的穩(wěn)定性所震撼,這些晶體管工作數(shù)百小時后和在75℃的高溫下工作,其性能幾乎保持不變,這也是他們迄今為止制造的最穩(wěn)定的有機晶體管。

為了進行實驗室演示,研究人員使用了一種玻璃襯底,但也可以使用許多其他柔性材料作為襯底,包括聚合物甚至紙張。

在實驗室里,研究人員使用標準的ALD生長技術(shù)來生產(chǎn)納米層壓薄片結(jié)構(gòu),但是更新的工藝稱為空間ALD(利用多頭噴嘴提供前體),可以加速生產(chǎn)并允許器件的尺寸擴大。Bernard Kippelen教授表示,ALD現(xiàn)在已經(jīng)達到成熟的程度,成為一個規(guī)?;I(yè)生產(chǎn)方法,他們認為這將有助于有機薄膜晶體管發(fā)展邁向新的階段。

應(yīng)用領(lǐng)域

一個明顯的應(yīng)用領(lǐng)域是手機有機發(fā)光顯示器(OLED)控制像素的晶體管,如蘋果手機iPhone X和三星手機等設(shè)備,這些像素現(xiàn)在由采用傳統(tǒng)的無機半導(dǎo)體制造的晶體管進行控制,但是由于新的納米層壓薄片結(jié)構(gòu)提供了更高的穩(wěn)定性,所以它們或許可以用可印刷的有機薄膜晶體管來代替。

物聯(lián)網(wǎng)(IoT)器件也可以受益于新技術(shù)的制造,允許使用噴墨打印機和其他低成本印刷和涂層工藝進行生產(chǎn)。納米層壓薄片結(jié)構(gòu)技術(shù)也可以允許開發(fā)廉價的紙質(zhì)襯底器件。

但是最引人注目的應(yīng)用可能是非常大型的柔性顯示器,可以在不使用時卷起來。Bernard Kippelen教授表示,未來顯示器將獲得更好的圖像質(zhì)量、更大的尺寸和更好的分辨率,隨著屏幕尺寸變大,傳統(tǒng)顯示器的剛性外形將成為一個限制,而低加工溫度碳基技術(shù)將使屏幕卷起來,便于攜帶,不易受損。

下一步工作和展望

研究人員下一步想要測試他們的新型有機半導(dǎo)體工藝,以提供更高的電荷遷移率,還計劃在不同的彎曲條件下,更長的時間內(nèi),以及在光電探測器等其他器件平臺上繼續(xù)測試新的納米層壓薄片結(jié)構(gòu)。

Bernard Kippelen教授表示,當涉及高速時,像硅或氮化鎵這樣的晶體材料肯定會有一個光明而又長久的未來。但是對于許多未來的印刷應(yīng)用,將最新的有機半導(dǎo)體技術(shù)與更高的電荷遷移率結(jié)合,納米結(jié)構(gòu)的柵極電介質(zhì)將提供非常強大的器件技術(shù)。

成果發(fā)表

Xiaojia Jia, Canek Fuentes-Hernandez, Cheng-Yin Wang, Youngrak Park,Bernard Kippelen. Stable organic thin-film transistors. Science Advances, 2018 DOI: 10.1126/sciadv.aao1705

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