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國產(chǎn)6英寸碳化硅(SiC)MOSFET晶圓研制成功

2018年5月1日,第一片國產(chǎn)6英寸碳化硅(SiC)mosFET晶圓誕生于臨港科技城園區(qū)企業(yè)上海瞻芯電子科技有限公司(以下簡稱“上海瞻芯電子”),這是全體瞻芯人9個月來勞動汗水的結(jié)晶。

上海瞻芯電子是一家由海歸博士領(lǐng)銜的無晶圓廠(Fabless)半導(dǎo)體初創(chuàng)公司,齊集了海內(nèi)外一支經(jīng)驗豐富的工藝、器件、電路設(shè)計、系統(tǒng)應(yīng)用、市場推廣和商務(wù)管理的高素質(zhì)核心團(tuán)隊。公司致力于開發(fā)以碳化硅功率器件為核心的高性價比功率芯片和模塊產(chǎn)品,為電源和電驅(qū)動系統(tǒng)的小型化、高效化和輕量化提供完整的半導(dǎo)體解決方案。

上海瞻芯電子2017年7月17日在上海臨港科技城正式注冊成立;于2017年10月上旬完成工藝流程、器件和版圖設(shè)計,在10月到12月間完成初步工藝試驗;并且從2017年12月開始正式流片,在短短不到5個月內(nèi)克服種種困難,成功地在一條成熟量產(chǎn)的6英寸工藝生產(chǎn)線上完成碳化硅(SiC) MOSFET的制造流程。晶圓級測試結(jié)果表明,各項電學(xué)參數(shù)達(dá)到預(yù)期,為進(jìn)一步完成工藝和器件設(shè)計的優(yōu)化奠定了堅實基礎(chǔ)。

眾所周知,碳化硅(SiC)是寬禁帶(Wide Band Gap)半導(dǎo)體材料的典型代表,具有高禁帶寬度、高擊穿場強(qiáng)和高熱導(dǎo)率等優(yōu)良特性,成為制作高溫、高頻和大功率電力電子器件的理想半導(dǎo)體材料。近年來,隨著6英寸碳化硅(SiC)晶圓在國際上的大規(guī)模投產(chǎn),必將快速推進(jìn)形成綠色節(jié)能的碳化硅(SiC)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,更能為電力電子芯片產(chǎn)品的升級提供核心保證,推進(jìn)混合和純電動汽車(HEV/EV)、太陽能光伏、風(fēng)力發(fā)電、高鐵及軌道交通、智能電網(wǎng)、智能家電以及航空航天等產(chǎn)業(yè)發(fā)生革命性的改變。

2018年3月5日下午,全國政協(xié)十三屆一次會議分組討論政府工作報告。全國政協(xié)委員、清華大學(xué)汽車安全與節(jié)能國家重點實驗室主任、中科院院士歐陽明高表示,我國新能源汽車近年發(fā)展突飛猛進(jìn),在政府工作報告中也幾次被提及,未來的發(fā)展方向就是要用新能源汽車取代傳統(tǒng)汽車。“現(xiàn)在我們新能源汽車所用的電可能還有煤電,未來光伏發(fā)電就會占有更多比重,甚至全部使用光伏發(fā)電?!睔W陽明高說,光伏需要新能源汽車來儲能,而新能源汽車也需要完全的可再生能源。下一步兩者的結(jié)合將形成新的增長點。在歐陽院士提到的三種主要應(yīng)用“光伏逆變器+儲能裝置+新能源汽車”中,碳化硅(SiC)MOSFET功率器件都是不可或缺的重要半導(dǎo)體器件。

據(jù)行業(yè)媒體反饋,國內(nèi)相關(guān)行業(yè)龍頭企業(yè)比亞迪、陽光電源和華為等等都已經(jīng)在旗艦產(chǎn)品系列中廣泛使用了碳化硅(SiC)MOSFET。國際上,歐洲的350kW超級充電站已經(jīng)采用了碳化硅(SiC)MOSFET功率模塊產(chǎn)品;在新一代新能源車?yán)锏碾p向車載充電器以及高性能電驅(qū)動單元,也成為碳化硅(SiC)MOSFET應(yīng)用的絕佳場所。

上海瞻芯電子將按照既定目標(biāo),一步一個腳印,夯實每一個工藝和設(shè)計環(huán)節(jié),精雕細(xì)鑿,奮力拼搏,爭取早日實現(xiàn)工業(yè)級(JEDEC)和車規(guī)級(AEC Q101)碳化硅(SiC)MOSFET產(chǎn)品量產(chǎn)。全體瞻芯人明白,階段性的成果只代表過去,我們將不忘初心砥礪前行,致力于成為國際一流的功率半導(dǎo)體芯片公司,為國家未來十年的高端芯片以及新能源事業(yè)貢獻(xiàn)自己的力量。

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